
日前國產芯片廠商格科微宣布成功實現整套ASML光刻機中的關鍵設備——先進ArF光刻機的搬入。
據格科微表示,目前,格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收,相關廠務系統配備進展順利,共有六十一臺設備已經搬入。未來,外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關設備仍會陸續搬入。
格科微表示,ArF光刻機的成功引入,是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發與產業化項目”建設的關鍵節點。

依托自有工廠即格科半導體的先進制程,格科微將進一步加快先進CIS工藝和高階專利像素的研發速度,并在自有工廠實現批量生產驗證,從而極大縮短高端產品從研發到大量供應市場的周期。
據了解,該項目總投資約155億元,建設一座12英寸、月產6萬片的芯片廠,建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產線,預計年底達到量產狀態。
今年2月,格科微披露2021年度業績快報。報告期內,公司實現營收70億元,同比增長8.44%;實現歸母凈利潤12.59億元,同比增長62.78%;扣非凈利潤12.03億元,同比增長57.09%。
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